本發明公開了一種SC切型石英晶片研磨的在線測頻方法,其特征在于,在線測頻功能包括自動搜索功能和跟蹤測頻功能;自動搜索功能實現對SC晶片當前頻率的搜索,并且根據自動搜索的不同結果進行不同的處理;跟蹤測頻功能包括雙頻率跟蹤功能、單頻率跟蹤功能、測頻參數初始化、掃頻參數設置和兩個功能之間的切換功能;本發明提供了一種處理效率高、數據精度高,雙模頻率精準區分的一種SC切型石英晶片研磨的在線測頻方法。
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